开云kaiyun体育国产替代进度有望加快-kai云体育app官方下载app最新版本-kai云体育app官方登录入口

发布日期：2026-06-16 05:56    点击次数：101

智通财经APP获悉，国金证券发布研报称开云kaiyun体育，光刻机行动晶圆制造最中枢设置，现时国产化率不足5%，但国内产业链在光学系统、光源及双工件台等中枢才调已已毕时候随意。跟着工信部将KrF/ArF光刻机列入《首台(套)紧要时候装备实施利用指点目次》，国产替代进度有望加快，提倡照看中枢部件供应商。提倡积极照看产业链部分才调优质倡导：汇成真空(301392.SZ)等。

国金证券主要不雅点如下：

光刻机是晶圆制造最中枢设置之一，时候难度最高且现时国产化率最低

在半导体制造限制，光刻机是不时摩尔定律的中枢装备。现时最高端的居品为ASML研发的EUV光刻机，能支撑7nm致使更先进工艺，是不时摩尔定律的中枢随意，正鼓舞半导体产业捏续迭代。环球光刻机市集呈现出显着的寡头把持状貌。ASML、Nikon和Canon三家公司永久占据环球光刻机市集的主导地位。其中，ASML凭借其在高端光刻机限制的时候上风，2024年占据了环球光刻机市集61.2%的份额，相称是在EUV光刻机限制，ASML是环球惟一的供应商。尼康和佳能则主要蚁合在中低端光刻机限制。中国光刻机需求量较大，但国产化率极低。中国现在是ASML光刻机最大的客户，2024年因晶圆厂扩产景气度及逾额备货的要素中国区收入占比爆发增长至41%。外洋制裁捏续加重，中枢科技受制于东谈主，国产替代大势所趋。

光学系统为光刻机最中枢部件

光刻机光学部件指径直参与光的传输和科罚流程精密零部件。一台光刻机主要由以下系统构成：光学系统、曝光光源系统、双职责台、浸没系统、微电子系统、筹谋机系统、精密机械系统和死心系统等。其中光学系统主要构成部分为光刻机的物镜系统，一般由15～20个直径为200～300mm的透镜构成，用以赔偿光源通过掩模版映照到附有光刻胶的硅片名义时产生的光学缺陷，除此除外光学系统还包括反射镜、偏振器、滤光片、光阑等。

光学系统是光刻机的中枢，光刻机的最小工艺节点越小，对光学系统的精度条件越高。ASML的光刻机光学部件主要由蔡司供应，且单元光学价值最高的EUV光学部件仅有蔡司有供应才调。现在，超精密光学部件国产化虽已已毕随意，但与蔡司收支甚远、任重谈远。国产的物镜系统已已毕了工艺上的随意，如茂莱光学坐蓐的超精密物镜系统用光学器件已已毕搭载在i-line光刻机上，但其工艺比较蔡司供给ASML的EUV光学物镜系统在面型精度、名义光洁度蓄意等浅易仍有较大差距

光源及双工台同为光刻机中枢部件，对光刻机成果起到热切作用

光源是光刻机中枢之一，光刻机的工艺才调当先取决于其光源的波长，现在主流的曝光光源波长从g线(436nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)，一直缩减到EUV(13.5nm)。常见光刻光源包括汞灯(g-line、i-line)、准分子激光(KrF、ArF)和极紫外光(EUV)。双工件台系统是光刻机中承载和挪动晶圆的关节子系统。ASML的双工件台系统通过两个竣工晶圆台的协同职责，大幅提升了光刻机的产能。工件台的敞开速率、精度和空隙性径直影响光刻机的区别率、套刻精度和产出。

相干供应链企业勤勉攻坚，国内高端光刻机随意大势所趋

攻坚克难正那时，产业发达有望迎来加快期。自02专项以来，以上海微为代表的光刻机整机公司在部分制程上已得到较为显赫的收成，完成了末端的0到1随意，在低端才调后续有望迎来产业端放量;在高端整机才调，2024年工信部发布的《首台(套)紧要时候装备实施利用指点目次》中将国产KrF及ArF光刻机明确列入，秀丽着我国在DUV光刻机已得到明确发达。

风险请示

产业发达不足预期、末端需求不足预期、中枢坐蓐制造设置管控的风险。

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